MOCVD Epitaxiale wafer bieden

MOCVD Epitaxiale wafer Susceptor is een high-performance epitaxiale wafer susceptor ontworpen voor MOCVD (metaal-organische chemische dampafzetting) apparatuur. De susceptor is gemaakt van SGL -grafietmateriaal en gecoat met siliciumcarbide -coating, die de hoge thermische geleidbaarheid van grafiet combineert met de uitstekende hoge temperatuur en corrosieweerstand van SiC, en is geschikt voor de harde werkomgeving van hoge temperatuur, hoge druk en corrosief gas tijdens de epitaxiale groei van semiconductoren.

SGL -grafietmateriaal heeft een uitstekende thermische geleidbaarheid, wat ervoor zorgt dat de temperatuur van de epitaxiale wafer gelijkmatig wordt verdeeld tijdens het groeiproces en de kwaliteit van de epitaxiale laag verbetert. De gecoate SIC -coating stelt de susceptor in staat om hoge temperaturen van meer dan 1600 ℃ te weerstaan ​​en zich aan te passen aan de extreme thermische omgeving in het MOCVD -proces. Bovendien kan de SIC-coating effectief weerstand bieden aan reactiegassen met hoge temperatuur en chemische corrosie, de levensduur van de susceptor verlengen en vervuiling verminderen.

Veteksemi's MOCVD Epitaxiale Wafer Susceptor kan worden gebruikt als vervanging voor accessoires van MOCVD -apparatuurleveranciers zoals Aixtron.

● Grootte: Kan worden aangepast aan de behoeften van de klant (standaardgrootte beschikbaar).

● Aardcapaciteit: Kan meerdere of zelfs meer dan 50 epitaxiale wafels tegelijk dragen (afhankelijk van de susceptorgrootte).

● Oppervlaktebehandeling: SIC -coating, corrosieweerstand, oxidatieresistentie.

● Halfgeleiderindustrie: Gebruikt voor de groei van epitaxiale wafels zoals LED's, laserdioden en krachtige halfgeleiders.

● Opto -elektronica -industrie: Ondersteunt de epitaxiale groei van hoogwaardige opto-elektronische apparaten.

● High-end materiaal onderzoek en ontwikkeling: Toegepast op de epitaxiale voorbereiding van nieuwe halfgeleiders en opto -elektronische materialen.

Afhankelijk van het type MOCVD -apparatuur en productiebehoeften van de klant, biedt Vetek Semiconductor aangepaste services, inclusief sausceptiegrootte, materiaal, oppervlaktebehandeling, enz., Om ervoor te zorgen dat de meest geschikte oplossing wordt verstrekt aan klanten.

CVD SIC -film Kristalstructuur

Basisfysische eigenschappen van CVD SIC -coating

Het halfgeleider MOCVD Epitaxiale wafer Susceptor -winkels