Selectiegids

Door de juiste CVD SiC-, TaC-coating of Solid SiC te selecteren, worden de deeltjesniveaus en de levensduur van componenten op epitaxie-/etslijnen direct bepaald. Dit artikel biedt duidelijke selectiegrenzen op basis van temperatuur, atmosfeer en proces, gecombineerd met belangrijke oplossingen voor vervanging van apparatuur en belangrijke meetgegevens, zodat u snel beslissingen kunt nemen en risico's kunt verminderen.