Technologie & oplossingen

Nadat het materiaal is geselecteerd, zijn kwantificeerbare meetgegevens zoals dikte-uniformiteit, deeltjesniveau en zuiverheid vaak bepalend voor de prestaties van het gereedschap. Dit artikel organiseert de belangrijkste kwaliteitsdimensies van CVD SiC-coating wat betreft acceptatie en gebruik, waardoor de overgang ontstaat van “de specificatie komt overeen” naar “het rapport kan worden gecontroleerd en er kan worden geanticipeerd op risico’s.

Dit artikel schetst de toepassingsgrenzen en typische scenario's van CVD SiC-coating, TaC-coating en Solid SiC op basis van temperatuur, atmosfeer en procestype, waardoor epitaxie- en etsingenieurs de procesvensters tijdens de selectie snel op één lijn kunnen brengen en deeltjes- en levensduurrisico's als gevolg van een verkeerde combinatie van materiaal en conditie kunnen vermijden.

Compatibiliteits- en vervangingsoplossingen voor Aixtron G10-, Veeco-, ASM-susceptors en voorverwarmingsringen. Ondersteunt 1:1 op tekeningen gebaseerde aanpassingen, snelle verzending voor standaardonderdelen, 3-6 weken voor aangepaste onderdelen, met inspectierapporten en monsterevaluatie.

Door de juiste CVD SiC-, TaC-coating of Solid SiC te selecteren, worden de deeltjesniveaus en de levensduur van componenten op epitaxie-/etslijnen direct bepaald. Dit artikel biedt duidelijke selectiegrenzen op basis van temperatuur, atmosfeer en proces, gecombineerd met belangrijke oplossingen voor vervanging van apparatuur en belangrijke meetgegevens, zodat u snel beslissingen kunt nemen en risico's kunt verminderen.