Siliconencarbide (SIC) Cantilever -paddle

Siliconencarbide (SIC) Cantilever -paddle is een onmisbare sleutelcomponent in het wafelverwerkingsproces. Het is voornamelijk een deel van het wafeltransportsysteem. Het voert de belangrijke taak uit om wafels in apparatuur te dragen en te transporteren, zoals diffusie-ovens van oxidatie op hoge temperatuur, waardoor de concentriciteit van de wafel en de ovenbuis wordt gewaarborgd en de consistentie en opbrengst van wafersverwerking wordt verbeterd.

SiC-cantileverpeddel heeft uitstekende prestaties bij hoge temperaturen: in een omgeving met hoge temperaturen tot 1600 ℃ kan de SiC-cantileverpeddel nog steeds een hoge sterkte en stabiliteit behouden, zal niet vervormen, beschadigen en andere problemen, en kan lange tijd stabiel werken.

De cantileverpeddel van siliciumcarbide is gemaakt van zeer zuiver SiC-materiaal en er vallen geen deeltjes af tijdens de wafelverwerking, waardoor vervuiling van het wafeloppervlak wordt vermeden. Siliciumcarbide-materiaal heeft een hoge buigsterkte en is bestand tegen grotere spanningen bij het dragen van meer wafers, en is niet vatbaar voor breuk, waardoor de veiligheid en stabiliteit van het wafertransmissieproces wordt gegarandeerd. De uitstekende chemische stabiliteit van SiC helpt de SiC-cantileverpeddel weerstand te bieden aan corrosie door verschillende chemicaliën en gassen, voorkomt dat onzuiverheden de wafer vervuilen als gevolg van materiaalcorrosie en verlengt de levensduur van het product.

SiC Cantilever Paddle-werkdiagram

Productspecificaties

● Verschillende maten: Wij bieden siliciumcarbide (SiC) cantilever-peddels van verschillende afmetingen om te voldoen aan de behoeften van verschillende soorten halfgeleiderapparatuur en wafelverwerking van verschillende afmetingen.

●  Aangepaste service: Naast standaardspecificatieproducten kunnen we ook exclusieve oplossingen voor klanten maken op basis van hun speciale vereisten, zoals specifieke grootte, vorm, laadcapaciteit, enz.

●  Moldingontwerp uit één stuk: Het wordt meestal vervaardigd met behulp van een vormingsproces uit één stuk, inclusief de sectie Verbindende sectie, overgangssectie en lagersectie. De onderdelen zijn strak verbonden en hebben een sterke integriteit, wat de structurele sterkte en stabiliteit van het product effectief verbetert en het falen risico vermindert dat wordt veroorzaakt door zwakke verbindingsonderdelen.

●  Versterkte structuur: Sommige producten zijn uitgerust met versterkingsstructuren in belangrijke onderdelen zoals de overgangssectie, zoals de bodemplaat, drukplaat, de verbindingsstang, enz., Die de verbindingssterkte tussen de overgangssectie en het verbindingsgedeelte en de lagersectie verder verbetert , verbetert de betrouwbaarheid van de High Purity Sic Cantilever -paddle bij het dragen van de wafel, en voorkomt problemen zoals breuk in het overgangsgebied.

●  Speciaal lagerkleedontwerp: Het ontwerp van het lagergebied houdt volledig rekening met de plaatsing en warmteoverdracht van de wafel. Sommige producten zijn uitgerust met U-vormige groeven, lange stripgaten, rechthoekige gaten en andere structuren in het lagergebied, die niet alleen het gewicht van het lagergebied zelf vermindert, maar ook het contactgebied met de wafel vermindert om warmte te voorkomen. Tegelijkertijd kan het ook zorgen voor de stabiliteit van de wafer tijdens de transmissie en voorkomen dat de wafel daalt.

Fysieke eigenschappen van herkristalliseerde siliciumcarbide ：

Tijdens het productieproces moet elke siliciumcarbide (sic) cantilever -peddel strikte kwaliteitsinspecties ondergaan, waaronder inspectie van dimensionale nauwkeurigheid, inspectie van het uiterlijk, het testen van fysische eigendommen, chemische stabiliteitstests, enz. De strikte vereisten van de verwerking van halfgeleiderwafers.

Vetek Semiconductor biedt een volledig scala aan after-sales services. Als klanten problemen ondervinden tijdens het gebruik, zal het professionele after-sales-team tijdig reageren en klanten snelle en effectieve oplossingen bieden om ervoor te zorgen dat de productie van klanten niet wordt beïnvloed.

Het halfgeleiderHoge zuiverheid SiC Cantilever Paddle-productiewinkels: