Siliconen carbide keramische wafelboot

De voordelen van het gebruik van Veteksemi siliciumcarbide keramische waferboot

● Zeer weerstand van hoge temperatuur tot 3000 F (1650 ℃））

● Super corrosiebestendig tegen zuren, oplosmiddelen, zouten en organische stoffen, slijtvast  

● Gemakkelijk schoon te maken

● Sterke impactweerstand

● Glip gratis

De VeTek Semiconductor-productie-industrie verwerkt deze wafers doorgaans in horizontale waferdragers of verticale dragers.

●  De horizontale drager, typisch een "boot" genoemd, heeft drie of vier horizontaal geplaatste staven die zijn gerangschikt in een halfcirkelvormig ontwerp, waarbij elke staaf op regelmatige afstanden naar binnen gerichte groeven heeft. Elk stel groeven definieert een verticale ruimte voor het dragen van een verticaal geplaatste wafel.

● De verticale drager, typisch een "verticaal rek" genoemd, heeft drie of vier verticaal geplaatste staven (of palen) die zijn gerangschikt in een halfcirkelvormig ontwerp, waarbij elke paal op regelmatige afstanden sleuven heeft die daarin zijn geplaatst om een ​​ruimte te definiëren voor het ondersteunen van een horizontaal geplaatste wafel.

Om de op dit gebied vereiste geometrische nauwkeurigheid te garanderen, zijn de drie of vier stangen bevestigd aan een bovenplaat en een onderplaat. De delen van de stijl tussen elke sleuf, "tanden" genoemd, zijn op identieke afstand van elkaar geplaatst om wafels op regelmatige afstanden van en evenwijdig aan de bodemplaat te ondersteunen. Het hele rek wordt vervolgens in een verticale oven geplaatst voor de verwerking van de wafels.

Omdat een wafel die op een verticaal rek wordt verwerkt, minder een temperatuurgradiënt over zijn gezicht ervaart (in vergelijking met een wafer die wordt verwerkt in een horizontale boot), wenden halfgeleidersfabrikanten zich steeds meer in verticale ovens. Er is echter een nadeel van verticale meubels. De wafels die op een conventioneel verticaal rek worden verwijderd, worden alleen aan hun buitenrand ondersteund. Als zodanig ervaren de delen van de wafel die op deze tanden rusten hogere stress dan de rest van de wafel.

Wanneer temperaturen in de oven groter zijn dan ongeveer 1000 ° C, worden deze spanningen vaak aanzienlijk en worden delen van de enkele kristalwafer verplaats ten opzichte van elkaar langs kristallografische platen in reactie op die stress. Dit fenomeen, "slip" genoemd, vernietigt effectief de waarde van de halfgeleiderapparaten in het gebied van de wafel waar er een slip heeft plaatsgevonden.

Als toonaangevende leverancier en fabrikant van siliciumcarbide-keramische waferboten in China heeft VeTek Semiconductor zich altijd ingezet voor het leveren van geavanceerde technologie en waferboot-productoplossingen voor de halfgeleiderverwerkende industrie. Wij kijken er oprecht naar uit om uw langetermijnpartner in China te worden.

Het halfgeleiderSiliciumcarbide keramische wafelbootproductiewinkels: