SIC gecoate e-chuck

Aangezien galliumnitride (GAN) het kernmateriaal van de halfgeleider van de derde generatie wordt, blijven de toepassingen in hoogfrequente, krachtige en opto-elektronische velden uitzetten, zoals 5G-communicatie-basisstations, stroommodules en LED-apparaten. Bij de productie van halfgeleiders, vooral in het etsproces, moeten wafels echter worden onderworpen aan hoge temperatuur, hoge chemische corrosieomgeving en extreem hoge precisieprocesvereisten, die extreem hoge technische normen voor wafellagerhulpmiddelen naar voren brengen.

De SIC -keramische pallets van Vetek Semiconductor zijn ontworpen voor gan -wafer etsen en bieden een hoge zuiverheid, uitstekende warmte en chemische weerstand om uw productieproces te ondersteunen. Het is geschikt voor Plasma Etching (ICP/RIE) proces en is een ideale keuze in moderne halfgeleiderproductieapparatuur.

Kernsterkten

1. Hoge zuiverheid SIC keramisch materiaal

Chemische stabiliteit: de zuiverheid van het materiaal is meer dan 99,5%en er is geen vervuiling voor de GAN -wafer.

Hoge hardheid en slijtvastheid: hardheid dicht bij diamant, in staat om hoogfrequent gebruik, onzichtbare veranderingen en krassen te weerstaan.

2. Uitstekende thermische prestaties

Hoge thermische geleidbaarheid, GAN-gematchte coëfficiënt van thermische expansie (CTE): verminder het risico op wafelscheuren in het etsproces.

3. Super chemische corrosieweerstand

Het kan lange tijd werken in een hoge concentratie fluoride, chloride en andere corrosieve gasomgeving.

4. Precisieontwerp en bewerking

Oppervlakteruwheid en vlakheid zorgen voor een gladde wafelplaatsing en etsuniformiteit om te voldoen aan de vereisten voor hoge precisieproces.

Afmetingen, groeven, vaste gaten en andere structuren kunnen worden aangepast aan de eisen van de klant.

Veld van SIC gecoate e-chuck-toepassing

● Plasma -ets (ICP/RIE)

Het biedt wafelfixatie en ondersteuning in hoge temperatuur en hoge chemische corrosieomgeving, geschikt voor het etsenproces van GAN, SIC en andere materialen.

● Wafeloverdracht en opslag

Zorg voor een zeer vlak en vervuilingsvrij platform om de veiligheid van de wafel in het productieproces te beschermen.

Aangepaste services

Het halfgeleiderbiedt aangepaste services om aan uw specifieke procesbehoeften te voldoen:

● Maataanpassing: Palletgrootte kan worden aangepast aan de wafersgrootte (Ø4 ~ 12 inch).

● Structuuroptimalisatie: Ondersteuning van groove, positioneringsgat, vast punt en andere structuuraanpassing.

Het halfgeleiderSIC gecoate e-chuck producten winkels: