CVD SIC Coating Graphite Susceptor

CVD SIC Coating Graphite Susceptor is speciaal ontworpen voor de productie van zeer nauwkeurige productie in de halfgeleiderindustrie. Het grafietsubstraat wordt gecoat met een hoge zuivere SIC-laag door het CVD-proces, dat een uitstekende weerstand tegen hoge temperatuur, corrosiebestendigheid en oxidatieweerstand heeft en kan lang stabiel werken in hoge temperatuur en vacuümomgevingen. Dit voetstuk wordt veel gebruikt in MOCVD, PECVD, PVD en andere apparatuur ter ondersteuning van de verwerking en het hanteren van wafels en andere materialen met een hoog nauwkeurige.

Core Voordelen:

● Hoge temperatuur stabiliteit: High-zuiver grafiet zelf heeft een uitstekende thermische stabiliteit. Na te zijn bedekt met SIC -coating, kan het bestand zijn tegen extreme omgevingen met een hogere temperatuur en is het geschikt voor processen met hoge temperatuur bij de verwerking van halfgeleiders.

● HoekIonweerstand: CVD SIC -coating is resistent tegen zuur- en alkali -corrosie en kan een lange levensduur hebben in het CVD -proces.

● Hoog HArdness en oxidatieweerstand: CVD SIC -coating heeft een uitstekende hardheid, krasweerstand en oxidatieweerstand bij hoge temperaturen om de stabiliteit van het materiaal te handhaven.

● Goede thermische geleidbaarheid: De combinatie van grafietsubstraat en CVD SIC -coating susceptor zorgt ervoor dat de basis een uitstekende thermische geleidbaarheid heeft, die effectief warmte kan leiden en de productie -efficiëntie kan verbeteren.

Productspecificaties:

● Materiaal: Graphiet -substraat + CVD SIC -coating

● Coatingdikte: kan worden aangepast aan de behoeften van de klant

● Toepasselijke omgeving: hoge temperatuur, vacuüm, corrosieve gasomgeving

Aangepaste service:

We bieden zeer aangepaste services om te voldoen aan de behoeften van de verschillende apparatuur en processen van klanten. Volgens de specifieke toepassing van de klant kunnen grafietbasis met verschillende coatingdiktes, oppervlaktebehandelingen en precisieniveaus worden verstrekt.

Veteksemi heeft altijd gewerkt in de CVD Silicon Carbide Coating-industrie en heeft de toonaangevende CVD SIC-coating grafietbasisproductie en productieniveau. Als u meer productinformatie of aangepaste services nodig hebt, neem dan contact op met Vetek Semiconductor, wij zullen u van harte professionele ondersteuning bieden.

SEM -gegevens van CVD SIC -filmkristalstructuur:

Het halfgeleiderCVD SIC Coating Graphite Susceptor Productwinkels: