Grafiet susceptor met CVD SiC-coating

De CVD SiC-coating grafiet susceptor is speciaal ontworpen voor uiterst nauwkeurige productie in de halfgeleiderindustrie. Het grafietsubstraat is volgens het CVD-proces gecoat met een zeer zuivere SiC-laag, die een uitstekende weerstand tegen hoge temperaturen, corrosieweerstand en oxidatieweerstand heeft en langdurig stabiel kan werken in omgevingen met hoge temperaturen en vacuüm. Dit voetstuk wordt veel gebruikt in MOCVD, PECVD, PVD en andere apparatuur ter ondersteuning van de verwerking en hantering van wafers en andere uiterst nauwkeurige materialen.

Kernvoordelen:

● Stabiliteit bij hoge temperaturen: Hoogzuiver grafiet zelf heeft een uitstekende thermische stabiliteit. Nadat het is gecoat met een SiC-coating, is het bestand tegen extreme omgevingen met hogere temperaturen en is het geschikt voor hoge temperatuurprocessen bij de verwerking van halfgeleiders.

● Corrosionen weerstand: CVD SiC-coating is bestand tegen zuur- en alkalicorrosie en kan een lange levensduur hebben in het CVD-proces.

● Hoge hhardheid en oxidatieweerstand: CVD SiC-coating heeft een uitstekende hardheid, krasbestendigheid en oxidatieweerstand bij hoge temperaturen om de stabiliteit van het materiaal te behouden.

● Goede thermische geleidbaarheid: De combinatie van grafietsubstraat en CVD SiC-coating susceptor zorgt ervoor dat de basis een uitstekende thermische geleidbaarheid heeft, die warmte effectief kan geleiden en de productie-efficiëntie kan verbeteren.

Productspecificaties:

● Materiaal: grafietsubstraat + CVD SiC-coating

● Dikte van de coating: kan worden aangepast aan de behoeften van de klant

● Toepasselijke omgeving: hoge temperatuur, vacuüm, corrosieve gasomgeving

Aangepaste service:

Wij bieden sterk op maat gemaakte diensten om te voldoen aan de behoeften van de verschillende apparatuur en processen van klanten. Afhankelijk van de specifieke toepassing van de klant kunnen grafietbasissen met verschillende laagdiktes, oppervlaktebehandelingen en precisieniveaus worden geleverd.

VeTekSemi heeft altijd gewerkt in de CVD-siliciumcarbidecoatingindustrie en beschikt over het toonaangevende productie- en productieniveau van CVD SiC-coating op grafietbasis. Als u meer productinformatie of diensten op maat nodig heeft, neem dan contact op met VeTek Semiconductor, wij zullen u van harte professionele ondersteuning bieden.

SEM-GEGEVENS VAN CVD SIC-FILMKRISTALSTRUCTUUR:

VeTek-halfgeleiderCVD SiC-coating grafiet susceptor-productwinkels: