Verticale ovenring met SiC-coating

In verticale ovens is het gebruik van SiC-gecoate ringen een veel voorkomende oplossing, voornamelijk gebruikt in warmtebehandelingsprocessen op hoge temperatuur vanhalfgeleiderwafels. Verticale oven SiC-gecoate ringen zijn hoogwaardige, hittebestendige componenten die worden gebruikt om wafers te ondersteunen of te beschermen om de stabiliteit en betrouwbaarheid van het proces te garanderen.

De functies van een SiC-gecoate ring met verticale oven

● Functies

Ondersteunende rol. Gebruikt om wafels te ondersteunen om hun stabiliteit en nauwkeurige positie in ovens van hoge temperatuur te waarborgen.

●  Bescherming tegen corrosie

Voorkomen dat corrosieve gassen of chemicaliën het basismateriaal corroderen.

●  Vervuiling verminderen

SiC-coating met hoge zuiverheid kan effectief deeltjesafval en verontreiniging van de onzuiverheid voorkomen om de reinheid van het proces te waarborgen.

●  Hoge temperatuurweerstand

Houd uitstekende mechanische eigenschappen en dimensionale stabiliteit in omgevingen met hoge temperatuur (meestal meer dan 1000 ° C).

De kenmerken van een verticale oven SiC-gecoate ring

●  Hoge hardheid en sterkte

SiC-materialen hebben een uitstekende mechanische sterkte en zijn bestand tegen hoge temperatuurbelasting in de oven.

●  Goede thermische stabiliteit

SIC's hoge thermische geleidbaarheid en lage thermische expansiecoëfficiënt helpen de thermische spanning te verminderen.

●  Sterke chemische stabiliteit

SiC-coatings zijn bestand tegen corrosie in oxiderende, zure of alkalische omgevingen.

●  Lage deeltjesbesmetting

Het gladde oppervlak vermindert de kans op het genereren van deeltjes, wat bijzonder geschikt is voor de ultraschone omgeving van de halfgeleiderproductie.

Gebruikt voor diffusie, oxidatie, gloeien en andere processen in verticale ovens om siliciumwafels te ondersteunen en deeltjesverontreiniging tijdens warmtebehandeling te voorkomen.

Productiematerialen en -processen

●  Substraat: Gemaakt van hoogwaardig SGL-grafiet, de kwaliteit is gegarandeerd.

● Coating: siliciumcarbide -coating wordt op het grafietoppervlak aangebracht door chemische dampafzetting (CVD).

●  De laagdikte ligt doorgaans tussen 50 en 500 μm, afhankelijk van de gebruiksvereisten.

●  De SiC-coating uit chemische dampafzetting heeft een hogere zuiverheid en dichtheid en een betere duurzaamheid.

Selecteer de juisteSiC-coatingring volgens de diameter van de siliciumwafel in de oven en de dragerspecificaties. Wij kunnen het voor u aanpassen. De zeer zuivere, dichte coating is duurzamer en minder vervuilend. Vervang regelmatig afhankelijk van de gebruiksfrequentie en procesvereisten om vervuiling of ondersteuningsfalen als gevolg van veroudering van de coating te voorkomen.

Als professionele leverancier en fabrikant van verticale oven SiC-gecoate ringen in China, zet VeTek Semiconductor zich al lang in voor het leveren van geavanceerde verticale oventechnologie en productoplossingen voor de halfgeleiderindustrie. Wij kijken er oprecht naar uit om uw langetermijnpartner in China te worden.

CVD SIC-FILMKRISTALSTRUCTUUR

Basisfysische eigenschappen van CVD SIC -coating

Het halfgeleiderVerticale oven SIC gecoate ringwinkels: