Producten

Veteksemicon Semiconductor Quartz-scherm is een essentieel onderdeel in metaal-organische chemische dampafzetting (MOCVD) -systemen, die een cruciale rol spelen bij het optimaliseren van dunne filmgroeiprocessen. Deze productdetailpagina benadrukt de hoge zuiverheidskwartsschermen van Veteksemicon, ontworpen om de uniformiteit, zuiverheid en onderhoudsefficiëntie van MOCVD-apparatuur te verbeteren.

Hoog zuiverheidskwarts is essentiële kerncomponent in geavanceerde halfgeleiderproductieprocessen, met name voor toepassingen die een extreem hoge thermische stabiliteit, chemische zuiverheid en dimensionale nauwkeurigheid vereisen. Veteksemicon biedt superieure quartz -smeltkroes van hoge zuiverheid die zijn ontworpen om te voldoen aan de extreme eisen van halfgeleiderprocessen.

De poreuze SIC-keramische chuck van Veteksemicon is een precisie-ontworpen vacuümplatform dat is ontworpen voor veilige en deeltjesvrije wafelafhandeling in geavanceerde halfgeleiderprocessen zoals etsen, ionenimplantatie, CMP en inspectie. Vervaardigd uit poreuze siliciumcarbide met hoge zuiverheid, biedt het uitstekende thermische geleidbaarheid, chemische weerstand en mechanische sterkte. Met aanpasbare poriëngroottes en afmetingen levert Veteksemicon op maat gemaakte oplossingen om te voldoen aan de strenge eisen van cleanroom -wafer verwerkingsomgevingen.

Onze Quartz-waferboten zijn een hoge zuivere waferdrageroplossing op maat gemaakt voor halfgeleider-, LED-, zonnecel- en batterijproductieprocessen. Deze kwartsboot is ontworpen om hoge temperaturen en chemisch agressieve omgevingen te doorstaan, deze kwartsboot heeft een lage thermische expansie, uitstekende elektrische isolatie en langdurige dimensionale stabiliteit. Ideaal voor diffusie-, oxidatie- en LPCVD -processen ondersteunt het nauwkeurige afstemming van de wafer en is beschikbaar in verschillende maten om te voldoen aan verschillende apparatuurvereisten.

Veteksemicon sic cantilever-peddels zijn hoge zuivere siliciumcarbide ondersteunende armen ontworpen voor waferafhandeling in horizontale diffusiegaven en epitaxiale reactoren. Met uitzonderlijke thermische geleidbaarheid, corrosieweerstand en mechanische sterkte zorgen deze peddels voor stabiliteit en netheid in veeleisende halfgeleideromgevingen. Beschikbaar in aangepaste maten en geoptimaliseerd voor een lange levensduur.

Het SIC-blok van Veteksemicon is ontworpen voor zeer efficiënte slijpen en dunner worden van silicium- en saffierwafels. Met uitstekende thermische geleidbaarheid (≥120 w/m · k), hoge thermische schokweerstand en superieure slijtvastheid (MOHS ≥9), verbeteren onze blokken de processtabiliteit en verminderen ze de frequentie van de gereedschapsverandering. Beschikbaar in maten van 120 mm tot 480 mm, met aangepaste opties en snelle levering om aan verschillende productiebehoeften te voldoen.