Industrie nieuws

Dit artikel beschrijft voornamelijk de brede toepassingsperspectieven van siliciumcarbide -keramiek. Het richt zich ook op de analyse van de oorzaken van sinterscheuren in siliciumcarbide -keramiek en de overeenkomstige oplossingen.

Etsentechnologie in de productie van halfgeleiders ondervindt vaak problemen zoals laadeffect, micro-grof effect en laadeffect, die de productkwaliteit beïnvloeden. Verbeteringsoplossingen omvatten het optimaliseren van de plasmadichtheid, het aanpassen van de reactiegassamenstelling, het verbeteren van de efficiëntie van het vacuümsysteem, het ontwerpen van een redelijke lithografie -lay -out en het selecteren van geschikte etsenmaskermaterialen en procesomstandigheden.

Hete dringende sintering is de belangrijkste methode voor het bereiden van krachtige SIC-keramiek. Het proces van hete dringende sinters omvat: het selecteren van SiC-poeder met hoge zuiverheid, drukken en vormen onder hoge temperatuur en hoge druk, en vervolgens sinteren. SIC -keramiek bereid door deze methode heeft de voordelen van hoge zuiverheid en hoge dichtheid en worden veel gebruikt bij het slijpen van schijven en warmtebehandelingsapparatuur voor het verwerking van wafers.

De belangrijkste groeimethoden van siliciumcarbide (SiC) zijn onder meer PVT, TSSG en HTCVD, elk met duidelijke voordelen en uitdagingen. Op koolstof gebaseerde thermische veldmaterialen zoals isolatiesystemen, smeltkroezen, TaC-coatings en poreus grafiet verbeteren de kristalgroei door stabiliteit, thermische geleidbaarheid en zuiverheid te bieden, essentieel voor de nauwkeurige fabricage en toepassing van SiC.

SIC heeft een hoge hardheid, thermische geleidbaarheid en corrosieweerstand, waardoor het ideaal is voor de productie van halfgeleiders. CVD SIC -coating wordt gecreëerd door chemische dampafzetting, die een hoge thermische geleidbaarheid, chemische stabiliteit en een bijpassende roosterconstante voor epitaxiale groei biedt. De lage thermische expansie en hoge hardheid zorgen voor duurzaamheid en precisie, waardoor het essentieel is in toepassingen zoals wafeldragers, voorverwarmingsringen en meer. Vetek Semiconductor is gespecialiseerd in aangepaste SIC -coatings voor diverse industriële behoeften.