Industrie nieuws

In de groei van SIC- en ALN ​​-enkele kristallen met behulp van de Physical Vapor Transport (PVT) -methode, spelen cruciale componenten zoals de smeltkroes, zaadhouder en geleidingsring een cruciale rol. Zoals weergegeven in figuur 2 [1], wordt het zaadkristal tijdens het PVT -proces geplaatst in het onderste temperatuurgebied, terwijl de SIC -grondstof wordt blootgesteld aan hogere temperaturen (boven 2400 ℃).

Siliciumcarbide -substraten hebben veel gebreken en kunnen niet direct worden verwerkt. Een specifieke single crystal dunne film moet erop worden gekweekt via een epitaxiaal proces om chipwafels te maken. Deze dunne film is de epitaxiale laag. Bijna alle siliciumcarbide -apparaten worden gerealiseerd op epitaxiale materialen. Homogene epitaxiale materialen van hoogwaardige siliciumcarbide vormen de basis voor de ontwikkeling van siliciumcarbide-apparaten. De prestaties van epitaxiale materialen bepalen direct de realisatie van de prestaties van siliciumcarbide -apparaten.

Siliciumcarbide hervormt de halfgeleiderindustrie voor stroom- en hoge-temperatuurtoepassingen, met zijn uitgebreide eigenschappen, van epitaxiale substraten tot beschermende coatings tot elektrische voertuigen en hernieuwbare energiesystemen.

Hoge zuiverheid: De epitaxiale siliciumlaag die is gegroeid door chemische dampafzetting (CVD) heeft een extreem hoge zuiverheid, betere vlakheid van het oppervlak en een lagere defectdichtheid dan traditionele wafers.

Solid siliciumcarbide (SIC) is een van de belangrijkste materialen in de productie van halfgeleiders geworden vanwege de unieke fysieke eigenschappen. Het volgende is een analyse van zijn voordelen en praktische waarde op basis van zijn fysieke eigenschappen en zijn specifieke toepassingen in halfgeleiderapparatuur (zoals wafeldragers, douchekoppen, ets focusringen, enz.).