Industrie nieuws

Quartz-boot is een belangrijke component voor het dragen van belasting die wordt gebruikt in het productieproces van het halfgeleider. Het wordt voornamelijk gebruikt voor de verwerking van wafels op hoge temperatuur, zoals diffusie, oxidatie en gloeien. De uitstekende thermische stabiliteit, lage vervuilingskenmerken en corrosieweerstand maken het een onmisbaar materiaal in de halfgeleiderindustrie. Dit artikel zal inwerken op het materiaal, de fysieke eigenschappen, classificatie, toepassingsscenario's van Quartz -boot en zijn verschillen met PECVD Graphite Boat.

Het kernmateriaal van PECVD-grafietboot is isotropisch grafietmateriaal met hoge zuiverheid (zuiverheid is meestal ≥99,999%), wat een uitstekende elektrische geleidbaarheid, thermische geleidbaarheid en dichtheid heeft. In vergelijking met gewone grafietboten hebben PECVD -grafietboten veel voordelen voor fysische en chemische eigendommen en worden ze voornamelijk gebruikt in de halfgeleider- en fotovoltaïsche industrieën, vooral in PECVD- en CVD -processen.

MOCVD -grafietbladen spelen een belangrijke rol in het epitaxiale proces. Dit artikel maakt een gedetailleerde analyse van de selectie van MOCVD -grafietbakken vanuit de perspectieven van materiaaleigenschappen en toepassingsscenario's.