Silicium op isolatiewafeltje

Het werkingsprincipe vanVeTek-halfgeleider'SSilicium op isolatorwafelis vooral afhankelijk van de unieke structuur en materiaaleigenschappen. En SOI-wafelbestaat uit drie lagen: de bovenste laag is een siliciumapparaatlaag met één kristal, de middelste is een isolerende Buried OXide (BOX) -laag en de onderste laag is een ondersteunend siliciumsubstraat.

de structuur van silicium-op-isolatorwafels (SOI)

Vorming van de isolatielaag: Silicon On Insulator Wafer wordt meestal vervaardigd met behulp van Smart Cut™-technologie of SIMOX-technologie (Separation by IMplanted OXygen). Smart Cut™-technologie injecteert waterstofionen in de siliciumwafel om een ​​bellenlaag te vormen, en verbindt vervolgens de waterstofgeïnjecteerde wafel met het ondersteunende siliciumwafeltje. 

Na de warmtebehandeling wordt de met waterstof geïnjecteerde wafel gescheiden van de bellenlaag om een ​​SOI-structuur te vormen.SIMOX-technologieimplanteert hoogenergetische zuurstofionen in siliciumwafels om bij hoge temperaturen een siliciumoxidelaag te vormen.

Verminder de parasitaire capaciteit: De BOX-laag van deSiliciumcarbide wafeltjeisoleert effectief de apparaatlaag en het basissilicium, waardoor de reductie aanzienlijk wordt verminderdg parasitaire capaciteit. Deze isolatie vermindert het energieverbruik en verhoogt de snelheid en prestaties van het apparaat.

Vermijd ‘klink-up’-effecten: De n-well- en p-well-apparaten in deSOI-wafelzijn volledig geïsoleerd, waardoor het lock-up-effect in traditionele CMOS-structuren wordt vermeden. Dit maakt het mogelijkwafeltje SOI met hogere snelheden te vervaardigen.

Etch-stopfunctie: Demonokristallijne siliciumapparaatlaagen de BOX-laagstructuur van de SOI-wafel vergemakkelijkt de productie van MEMS en opto-elektronische apparaten, waardoor een uitstekende etsstopfunctie wordt geboden.

Door deze kenmerken,Silicium op isolatiewafeltjespeelt een belangrijke rol bij de verwerking van halfgeleiders en bevordert de voortdurende ontwikkeling van de geïntegreerde schakeling (IC) enmicro-elektromechanische systemen (MEMS)industrieën. Wij kijken oprecht uit naar verdere communicatie en samenwerking met u.

De specificatieparameter van 200 mm SOl-wafels:

Silicium op isolatiewafeltjes Productiewinkels: