Silicium op isolator wafel

Het werkende principe vanHet halfgeleider'SSilicium op isolator wafelvertrouwt voornamelijk op zijn unieke structuur en materiaaleigenschappen. En Soi WaferBestaat uit drie lagen: de bovenste laag is een siliciumapparaatlaag met één kristal, het midden is een isolerende begraven oxide (doos) -laag en de onderste laag is een ondersteunend siliconensubstraat.

De structuur van silicium op isolatorwafels (SOI)

Vorming van de isolatielaag: Silicium op isolatorwafer wordt meestal vervaardigd met behulp van Smart Cut ™ -technologie of Simox (scheiding door geïmplanteerde zuurstof) technologie. Smart Cut ™ -technologie injecteert waterstofionen in de siliciumwafer om een ​​bellenlaag te vormen en bindt vervolgens de waterstof-geïnjecteerde wafel aan het ondersteunende siliciumwafeltje. 

Na warmtebehandeling wordt de waterstof-geïnjecteerde wafel verdeeld van de bellenlaag om een ​​SOI-structuur te vormen.Simox -technologieImplantaten met hoge energie zuurstofionen in siliciumwafels om een ​​siliciumoxidelaag bij hoge temperaturen te vormen.

Verminder de parasitaire capaciteit: De dooslaag van deSilicium carbide wafelisoleert effectief de apparaatlaag en het basissilicium, aanzienlijk reducinerenG Parasitaire capaciteit. Deze isolatie vermindert het stroomverbruik en verhoogt de snelheid en prestaties van het apparaat.

Vermijd opsluitingseffecten: De N-Well en P-Well-apparaten in deSoi Waferzijn volledig geïsoleerd en vermijdt het opsluitingseffect in traditionele CMOS-structuren. Dit maakt het mogelijkWafer Soi om met hogere snelheden te worden vervaardigd.

Etch Stop -functie: DeLaag met één kristal siliciumapparaaten dooslaagstructuur van SOI -wafer vergemakkelijkt de productie van MEMS en opto -elektronische apparaten, waardoor een uitstekende ETCH -stopfunctie wordt geboden.

Door deze kenmerken,Silicium op isolator wafelspeelt een belangrijke rol bij de verwerking van halfgeleiders en bevordert de continue ontwikkeling van het geïntegreerde circuit (IC) enMicro -elektromechanische systemen (MEMS)Industrieën. We kijken oprecht uit naar verdere communicatie en samenwerking met u.

De parameter van de 200 mm SOL wafels specificatie:

Silicium op isolatorwafels productiewinkels: