Silicium voetstuk

De silicium susceptor van VeTek Semiconductor is een puur siliciumproduct dat is ontworpen om temperatuurstabiliteit in de thermische reactorbuis te garanderen tijdens de verwerking van siliciumwafels, waardoor de thermische isolatie-efficiëntie wordt verbeterd. De verwerking van siliciumwafels is een uiterst nauwkeurig proces en de temperatuur speelt een cruciale rol, die rechtstreeks van invloed is op de dikte en uniformiteit van de siliciumwafelfilm.

Het siliciumvoetstuk bevindt zich in het onderste deel van de thermische reactorbuis van de oven, die het silicium ondersteuntwafel dragerterwijl het een effectieve thermische isolatie biedt. Aan het einde van het proces koelt het samen met de siliciumwafeldrager geleidelijk af tot omgevingstemperatuur.

Kernfuncties en voordelen van VeTek Semiconductor silicium voetstukken:

Stabiele ondersteuning bieden om de procesnauwkeurigheid te waarborgen

Het siliciumvoetstuk biedt een stabiel en zeer warmtebestendig ondersteuningsplatform voor de siliciumboot in de hoge temperatuurovenkamer. Deze stabiliteit kan effectief voorkomen dat de siliciumboot tijdens de verwerking verschuift of kantelt, waardoor de uniformiteit van de luchtstroom wordt beïnvloed of temperatuurverdeling wordt vernietigd, waardoor een hoge precisie en consistentie van het proces wordt gewaarborgd.

Verbeter de temperatuuruniformiteit in de oven en verbeter de wafelkwaliteit

Door de siliciumboot te isoleren van direct contact met de bodem of wand van de oven, kan de siliciumbasis het warmteverlies veroorzaakt door geleiding verminderen, waardoor een meer uniforme temperatuurverdeling in de thermische reactiebuis wordt bereikt. Deze uniforme thermische omgeving is essentieel om uniformiteit van waferdiffusie en oxidelaag te bereiken, waardoor de algehele kwaliteit van de wafer aanzienlijk wordt verbeterd.

Optimaliseer de thermische isolatieprestaties en verminder het energieverbruik

De uitstekende thermische isolatie -eigenschappen van het siliciumbasismateriaal helpen het warmteverlies in de ovenkamer te verminderen, waardoor de energie -efficiëntie van het proces aanzienlijk wordt verbeterd. Dit efficiënte thermische managementmechanisme versnelt niet alleen de cyclus van verwarming en koeling, maar vermindert ook het energieverbruik en de bedrijfskosten, waardoor een meer economische oplossing biedt voor de productie van halfgeleiders.

Specificaties van Vetek Semiconductor Siliconen voetstuk

Vergelijk Semiconductor Silicon Pedestal Production Shops