PZT piëzo-elektrische wafels (PZT op Si/SOI)

1. Technische architectuur

Onze wafers zijn voorzien van een geavanceerde meerlaagse stapelstructuur die is ontworpen om optimale hechting, geleidbaarheid en piëzo-elektrische respons te garanderen tijdens complexe MEMS-verwerking:

 ●Bovenste elektrode (toetslaag): Pt (platina).

● Piëzolaag (kernlaag): PZT.

● Tussenliggende lagen: Inclusief bufferlaag, onderste elektrode en adhesielaag om de korreloriëntatie en structurele stabiliteit te optimaliseren.

● Substraat: Compatibel met Si- of SOI-wafels.

2. Kwaliteitsborging en microstructuuranalyse

Wij garanderen een hoge betrouwbaarheid door middel van strenge technische karakterisering:

 ●SEM-analyse: Scanning Electron Microscopy (SEM)-beelden onthullen een dichte, barstvrije oppervlaktemorfologie met uniforme korrelgrootteverdeling, ideaal voor zeer betrouwbare MEMS-toepassingen.

 ●XRD-karakterisering: Röntgendiffractiepatronen (XRD) bevestigen pure perovskietfasevorming met een sterke (100) voorkeursoriëntatie, waardoor maximale piëzo-elektrische prestatiecoëfficiënten worden gegarandeerd.

3. Technische specificaties (kenmerken)

4. Kerntoepassingen

 ● Piëzo-elektrische microbewerkte ultrasone transducers (pMUT): Hoogfrequente geminiaturiseerde arrays voor vingerafdruksensoren, gebarenherkenning en ultrasone radar voor auto's.

 ● Communicatie: Sleutel voor de productie van FBAR- of SAW-filters in 5G/6G om een ​​grotere bandbreedte en minder invoegverlies te bereiken.

 ● Akoestische MEMS: Biedt een krachtige transiënte respons voor MEMS-luidsprekers en verbetert de signaal-ruisverhouding (SNR) voor MEMS-microfoons.

 ● Precisievloeistofcontrole: Snelle trilling via d31-modus voor nauwkeurige controle op nanoliterschaal van het druppelvolume in inkjetprintkoppen.

 ● Medisch en schoonheid (micropompen): Stuurt medische vernevelaars of cosmetische ultrasone pompen aan met hoge betrouwbaarheid en compact formaat.

5. Maatwerkdiensten

Naast de standaard depositie op Si-wafels bieden wij ook depositiediensten op maat:

 ●Film- en dikteaanpassing: Afzetting van specifieke filmtypes en aangepaste diktes volgens ontwerpvereisten.

 ●OEM-gieterij: Acceptatie van door klanten geleverde wafers voor hoogwaardige piëzo-elektrische dunnefilmgroei.

 ●SOI-substraatondersteuning: Gespecialiseerde depositie op SOI-wafels met de volgende specificaties: