Focusring voor etsen

Monokristallijne siliciumetsenringen zijn essentiële componenten in semiconductor etsenprocessen door de stabiliteit van de plasma -omgeving te handhaven, apparatuur en wafels te beschermen, het gebruik van hulpbronnen te optimaliseren en aan te passen aan geavanceerde procesvereisten. De prestaties ervan hebben direct invloed op de opbrengst en de kosten van chipproductie.

De geëtste focusring, elektrode en enz. (Rand temperatuurregelaar) zijn de kernverbruiksartikelen om plasma -uniformiteit, temperatuurregeling en herhaalbaarheid van processen te waarborgen. Deze componenten zijn precies geassembleerd in de vacuümkamer van de CVD, etsen en filmapparatuur en bepalen direct de nauwkeurigheid en opbrengst van het etsen van rand naar midden van de wafer.

In reactie op de strenge vraag naar materiaaleigenschappen in hoogwaardige productieprocessen, innoveert Veteksemi door een hoog zuivere monokristallijn silicium te gebruiken met een weerstand van 10-20Ω · cm om focusringen te produceren en verbruiksartikelen te ondersteunen. Door samenwerkingsoptimalisatie van materiaalwetenschap, elektrisch ontwerp en thermodynamica, kan Veteksemi focusringen produceren en verbruiksgoederen ondersteunen. Overtroffen traditionele Quartz -oplossingen uitgebreid om doorbraakverbeteringen in een lange levensduur, nauwkeurigheid en kosteneffectiviteit te bereiken.

Kernmateriaalvergelijking en weerstandsoptimalisatie

Monocrystalline Silicon Vs. Kwarts

Productkern voorstandere

1. Atomisch niveau procesnauwkeurigheid

Weerstandsoptimalisatie + ultra-precisie polijsten (RA <0,1 μm) elimineert microontlading en deeltjesverontreiniging om te voldoen aan SEMI F47-normen.

Het diëlektrische verlies (TANA <0,001) is sterk gekoppeld aan de wafer diëlektrische omgeving, waardoor rand elektrische veldvervorming wordt vermeden en 3D NAND 89,5 ° ± 0,3 ° verticaal diepe gat etsen ondersteunt.

2. Intelligente systeemcompatibiliteit

Geïntegreerd met etc -rand temperatuurregelingsmodule, wordt de koelluchtstroom dynamisch ingesteld door thermokoppel- en AI -algoritme om de thermische drift van de kamer te compenseren.

Ondersteuning aangepast RF Matching Network, geschikt voor reguliere machines zoals AMAT Centura, Lam Research Kiyo en ICP/CCP -plasmabronnen.

3. Uitgebreide kosteneffectiviteit

Het leven van monokristallijn silicium is 275% langer dan die van kwarts, de onderhoudscyclus is meer dan 3000 uur en de uitgebreide eigendomskosten (TCO) worden met 30% verlaagd.

Weerstandsgradiëntaanpassingsservice (5-100Ω · cm), precies overeenkomen met het klantprocesvenster (zoals GAN/SIC brede band gap materiaal etsen).

Het effect van weerstand

Product commerciële voorwaarden

Minimale bestelhoeveelheid	1 set
Prijs	Contact voor aangepaste offerte
Verpakkingsgegevens	Standaard exportpakket
Levertijd	Levertijd: 30-35 dagen na bestelbevestiging
Betalingsvoorwaarden	T/t
Leveringsvermogen	600 sets/maand