Nieuws

Door voortdurende technologische vooruitgang en diepgaand onderzoek naar mechanismen wordt verwacht dat 3C-SiC hetero-epitaxiale technologie een belangrijkere rol zal spelen in de halfgeleiderindustrie en de ontwikkeling van zeer efficiënte elektronische apparaten zal bevorderen.

Ruimtelijke ALD, ruimtelijk geïsoleerde afzetting van atomaire lagen. De wafel beweegt tussen verschillende posities en wordt op elke positie blootgesteld aan verschillende voorlopers. Onderstaande figuur is een vergelijking tussen traditionele ALD en ruimtelijk geïsoleerde ALD.

Onlangs heeft het Duitse onderzoeksinstituut Fraunhofer IISB een doorbraak gebracht in het onderzoek en de ontwikkeling van tantalum carbide coatingtechnologie en een spraycoating -oplossing ontwikkeld die flexibeler en milieuvriendelijker is dan de CVD -depositieoplossing en is gecommercialiseerd.