Nieuws

Het poreuze tantalumcarbide van Vetek Semiconductor, als een nieuwe generatie SIC -kristalgroeimateriaal, heeft veel uitstekende producteigenschappen en speelt een sleutelrol in een verscheidenheid aan technologieën voor het verwerken van halfgeleiders.

Het werkingsprincipe van de epitaxiale oven is om halfgeleidermaterialen op een substraat onder hoge temperatuur en hoge druk af te zetten. Silicium epitaxiale groei is om een ​​laag kristal te laten groeien met dezelfde kristaloriëntatie als het substraat en verschillende dikte op een silicium enkel kristallen substraat met een bepaalde kristaloriëntatie. Dit artikel introduceert voornamelijk de siliciumepitaxiale groeimethoden: epitaxie van dampfase en epitaxie van vloeibare fase.

Chemische dampafzetting (CVD) in de productie van halfgeleiders wordt gebruikt om dunne filmmaterialen in de kamer af te zetten, inclusief SiO2, Sin, enz., En vaak gebruikte types omvatten PECVD en LPCVD. Door de temperatuur-, druk- en reactiegastype aan te passen, bereikt CVD een hoge zuiverheid, uniformiteit en goede filmdekking om aan verschillende procesvereisten te voldoen.