Nieuws

Dit artikel introduceert de nieuwste ontwikkelingen in de nieuw ontworpen PE1O8 hot-wall CVD-reactor van het Italiaanse bedrijf LPE en zijn vermogen om uniforme 4H-SiC-epitaxie uit te voeren op 200 mm SiC.

Met de groeiende vraag naar SIC -materialen in krachtelektronica, opto -elektronica en andere gebieden, zal de ontwikkeling van SIC single crystal groeipechnologie een belangrijk gebied van wetenschappelijke en technologische innovatie worden. Als de kern van SIC-apparatuur met één kristalgroei, zal het thermische veldontwerp uitgebreide aandacht en diepgaand onderzoek blijven krijgen.

Door voortdurende technologische vooruitgang en diepgaand onderzoek naar mechanismen wordt verwacht dat 3C-SiC hetero-epitaxiale technologie een belangrijkere rol zal spelen in de halfgeleiderindustrie en de ontwikkeling van zeer efficiënte elektronische apparaten zal bevorderen.

Ruimtelijke ALD, ruimtelijk geïsoleerde afzetting van atomaire lagen. De wafel beweegt tussen verschillende posities en wordt op elke positie blootgesteld aan verschillende voorlopers. Onderstaande figuur is een vergelijking tussen traditionele ALD en ruimtelijk geïsoleerde ALD.