Industrie nieuws

Het is ideaal om geïntegreerde schakelingen of halfgeleiderapparaten op een perfecte kristallijne basislaag te bouwen. Het epitaxieproces (epi) bij de vervaardiging van halfgeleiders heeft tot doel een fijne enkelkristallijne laag, gewoonlijk ongeveer 0,5 tot 20 micron, op een enkelkristallijn substraat af te zetten. Het epitaxieproces is een belangrijke stap bij de vervaardiging van halfgeleiderapparaten, vooral bij de productie van siliciumwafels.

Het belangrijkste verschil tussen epitaxie en de afzetting van atoomlaag (ALD) ligt in hun filmgroeipechanismen en bedrijfsomstandigheden. Epitaxie verwijst naar het proces van het kweken van een kristallijne dunne film op een kristallijn substraat met een specifieke oriëntatierelatie, waarbij dezelfde of vergelijkbare kristalstructuur wordt gehandhaafd. ALD is daarentegen een afzettingstechniek waarbij een substraat wordt blootgesteld aan verschillende chemische voorlopers in volgorde om een ​​dunne film één atoomlaag tegelijk te vormen.

CVD TAC-coating is een proces voor het vormen van een dichte en duurzame coating op een substraat (grafiet). Deze methode omvat het afzetten van TaC op het substraatoppervlak bij hoge temperaturen, wat resulteert in een tantaalcarbide (TaC) coating met uitstekende thermische stabiliteit en chemische weerstand.