Industrie nieuws

Onder de beschikbare technologieën is de SiC-kristalgroeioven met grote weerstandsverwarming naar voren gekomen als een kritische oplossing voor het produceren van SiC-kristallen met een grote diameter en weinig defecten met verbeterde consistentie en efficiëntie. Dit artikel onderzoekt hoe deze technologie werkt, de voordelen en toepassingen ervan en waarom marktleiders vertrouwen op innovatieve oplossingen van Veteksemi.

Een SiC-gecoate grafiet susceptor voor ASM is niet alleen een vervangend onderdeel in een epitaxiesysteem. Het is een proceskritische drager die de thermische uniformiteit, de zuiverheid van de wafer, de duurzaamheid van de coating, de kamerstabiliteit en de productiekosten op de lange termijn beïnvloedt.

Een CVD TaC Coating Cover is niet alleen een beschermend deksel of gecoat grafietonderdeel. Bij halfgeleiderprocessen bij hoge temperaturen kan dit de reinheid van de kamer, de thermische stabiliteit, de levensduur van onderdelen en de procesconsistentie beïnvloeden.