Nieuws

Veteksemicon schittert op de Shanghai SEMICON International Exhibition 2025 en leidt de toekomst van de halfgeleiderindustrie met innovatieve technologieën

In de Semiconductor Manufacturing -industrie, naarmate de apparaatgrootte blijft krimpen, heeft de depositietechnologie van dunne filmmaterialen ongekende uitdagingen gesteld. Atomic Layer Deposition (ALD), als een dunne filmafzettingstechnologie die nauwkeurige controle op atomair niveau kan bereiken, is een onmisbaar onderdeel geworden van de productie van halfgeleiders. Dit artikel is bedoeld om de processtroom en de principes van ALD te introduceren om de belangrijke rol in de geavanceerde chipproductie te helpen begrijpen.

Het is ideaal om geïntegreerde schakelingen of halfgeleiderapparaten op een perfecte kristallijne basislaag te bouwen. Het epitaxieproces (epi) bij de vervaardiging van halfgeleiders heeft tot doel een fijne enkelkristallijne laag, gewoonlijk ongeveer 0,5 tot 20 micron, op een enkelkristallijn substraat af te zetten. Het epitaxieproces is een belangrijke stap bij de vervaardiging van halfgeleiderapparaten, vooral bij de productie van siliciumwafels.